发布时间 : 星期一 文章光伏材料制造设备原理与控制 014409300619 姚寒聪 - 图文更新完毕开始阅读31e1bcf2ba0d4a7302763a11
光伏材料制造设备的控制系统
第一章 生长主界面(CCD F1)
晶体生长控制系统的主界面。可直观显示晶体生长过程中单晶生长系统主要运行参数及设备的运行状态,其操作画面如下图所示。
(注:在每次系统上电后系统自动进入晶体生长主界面。也可在其它界面下通过触摸屏幕下方的【主画面 F1】键调出主界面.)
界面说明:
①上标题栏从左至右分别是:晶体位置(mm)信号,坩埚位置(mm)信号, 件版本号及系统当前时间等信息。
②下标题栏从左至右分别为:F1-F7界面切换按键。 ③界面中间部分为系统的运行参数及状态:
④左侧是系统主要运行参数,由上至下分别是晶升速度,晶转速度,埚升度,埚转速度,当前加热功率及温度信号,MFC(质量流量计)开度控制及流量显示,主室泵开度控制及显示,主炉室当前真空信号及系统报警提示栏。
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⑤主画面中为设备当前运行状态的直观显示,晶升上下限位,埚升上下限位,液压系统S1、S2限位,MFC V1、V2、V3充气阀开关,水路状态及当前水压,晶体直径显示及晶体重量显示(根据直径估算),主室阀电源开关,副室阀电源开关。
⑥注:a.MFC、主泵电动球阀、副室电动球阀、水流量显示等功能适用于95炉高配版本。B.主室阀与副室阀电源需在球阀完全关闭的状态下关闭,以免在炉室内真空的状态下造成倒吸。 右侧是过程控制状态及操作按键
界面说明:
①该界面为投入自动控制界面,选择当前所需要的控制过程然后投入相应的自动控制程序。
②控制程序有以下步骤:真空测试,加热,人工操作1,引细颈,放肩,收肩,等径,收尾,人工操作2,冷却,人工操作3。
③“系统参数设置”是晶体生长控制系统的控制参数设置界面。
④注: 全自动拉晶过程,需要配置CCD智能相机,如选用IRON控径仪,只能实现自动等径,收尾等过程。
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第二章 生长控制器界面(CGC F2)
按【CGC F2】键进入晶体生长控制器界面。该界面显示晶体生长过程中的晶体生长控制器参数及控制器操作界面。【CGC F2】根据不同的操作过程有四个不同的操作界面,分别是细颈,放肩,收肩,等径。
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界面说明:
界面的中间是系统的运行参数,共三列,其功能分别是:
?左 列:从上到下分别是系统报警,晶转速度SR(rpm),埚转速度CR(rpm),晶升速度SL(mm/min),埚升速度CL(mm/min),埚跟比CL/SL及使能开关,起始长度。
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