发布时间 : 星期五 文章大宗气体及特殊气体更新完毕开始阅读41a2e2f6182e453610661ed9ad51f01dc3815708
我们不排除这些气体会对我们有不良影响。身在半导体工厂的我们，在设计上、施工中，如何避免泄漏、如何防患，则是我们努力的工作之一。
第二章 一次配管和二次配管
半导体厂的气体管路，我们一般区分为一次配管（SP1）及二次配管（SP2， 又称Hookup）。
SP1：为由气体的起始流出点（Gas yard/Gas cabinet）至无尘室中的Take off Valve 或 VMB（Valve manifold box）/VMP（Valve manifold panel）。 SP2：为由Take off Valve 或 VMB/VMP开始至生产机台设备处为止（Hookup）。所使用管材以1/4”、3/8”、1/2”、3/4”为主。
Piping之设计应配合气体类型考量，一般分为Bulk Gas及Speciality Gas两大类。
2.1 Material 介绍
了解半导体气体工程的配管，和管路设计，必须先了解材料（Material）
2.1.1 材料区分：
1. TUBE & PIPE（管件） 2. FITTINGS（配件） 3. VALVE（阀件）
4. REGULATOR（调压阀）
5. CHECK VALVE（逆止阀） 6. FILTER（过滤器）
7. VACUUM GENERATOR（真空产生器） 8. 其他
2.1.2 选料依据： ?气体种类 , 气体特性
* 影响材料使用的等级 – AP / BA / EP / V+V / …. ?业主需求及预算
*有无指定厂牌或规格?依机台所需用量及本身接点选定料件尺寸 * 影响材料使用的尺寸 – ?” / ?” / 15A / ……. ?依机台所需压力及流量不同选择材料型式 * 选用压力范围适合或流量符合之阀件 ?视盘面组装选择料件接头型式
* VCR / SWG / Welding / Flange…..
2.1.3 TUBE & PIPE 管件： ?1.定义:
* Pipe :, 以 公称内径(ID) 配合壁厚作为量度之尺寸. * Tube : 以外径(OD) 及壁厚作为量度之尺寸.
*规格 : 6M/stick or 4M/stick or 100M/roll2.常用材质: SS304 /SS304L & SS316 / SS316L & VIM+VAR & HC-22…3.表面处理等级 : BA – Bright Anneal 表面研磨
EP – Electro Polish 表面研磨 + 电解研磨
?4.等级:
* Bulk Gas 一般使用 316L BA 或 316L EP 等级 * Specialty Gas :
易燃性 / 惰性 气体 – 316L EP
毒性 – 双套管 ( 304 AP + 316L EP ) / 单管 316L EP 腐蚀性 气体 – VIM + VAR
低压性气体 -- 316L EP + Heater Line + Warm Cover
2.1.4 FITTINGS 配件：
?1.材质同管件?2.常用种类 :
a.Nut + Gland + Gasket b.Elbow,Tee,Reducer c.Cap,Plug d.Connector e.others…
?3.型式及规格 :
一般可分为 VCR / SWG / WELDING /螺牙接头/FLANGE 尺寸从 1/8“~1”(VCR/SWG)及1/4“~300A(WELD/FLANGE) 皆有, 又分 短接头 SCM (micro) or 长接头 SCL (long) & SCF (以Kitz作说明):
Product Name Size Size for other side Type Specification
Material
SCM 4 0 E EP LE
SCM：表示BANKEN公司对FITTING的分类，是属于短接头型式。 4：表示尺寸为1/4”。
0：表示另一端尺寸同前，为1/4”。 E：表示此料件型式为ELBOW。 EP：表示料件表面处理等极为EP。
LE：表示此料件为VIM+VAR等级的EP?4.常用厂牌 : KITZ / HAM-LET / IHARA / SWAGELOK /FUJIKIN….?5.另外大部分FITTING又分为三种不同规
格，分别为一般Type；Union Type及Reducing Type。一般型即为平时所见之焊接型式， Union型为对接型式（即直接以GLAND+NUT锁紧），Reducing型类似一般型，唯其两端（三端）尺寸不同。
一般组盘所用接头有两种，分别为VCR及SWG，其中VCR需锁紧1/8圈，SWG需锁紧1 1/4圈(1/4”以下需锁紧3/4圈)，方能有效锁紧。 大部分的气体使用之GASKET为Ni材质，CO对Ni具侵蚀性* CO & O3 – Gasket must be SUS.。
2.1.5 VALVE 阀件：
?1.材质同管件?2.常用种类 :
* 手动阀 ( Manual Valve )
a.Ball Valve 球阀
b.Bellows Valve 波纹管阀
c.Diaphragm Valve 膜片阀
*气动阀 ( Air Valve )
*逆止阀 ( Check Valve ) CHECK VALVE选取主要依据其尺寸及两
端接头型式决定。Cracking Pressure为Check Valve使气体通过之最小压力。通常选用3 psig以下之型式。NH3必需使用特殊之Check Valve， * NH3 – Check valve must be AFLAS type.。
* 其他
?3.常用厂牌 : KITZ / OHNO / IHARA / MOTOYAMA / NUPRO….?4. 备注: * 高压阀 / 低压阀 -- 依使用场所不同来选择
* 两通阀 / 三通阀 / 四通阀 / ….. : 依需求来选择,注意流向选择
2.1.6 REGULATOR 调压阀：
?1.材质同管件?2. Seat 材质: PCTFE , SS316L , Kel-F81… * N2O – Seat material must be Vespel.?3.常用种类 : * 高压 / 低压 / 一般压力 * 2P 无表头 / 3P or 4P 单表头 或双表头 * VCR / SWG / Flange