激光三角法测量钢板厚度光学系统设计 联系客服

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斜射型:如下图2.2所示,入射光束与被测物面成一夹角,利用反射到探测器件CCD的像点位置变化测量物体的位置厚度,当物体纵向移动时,所测的被测点会随移动发生改变,当测量平滑物体如玻璃、镜面时要比直射型的测量精度高很多。斜射式入射光照射在物体的不同位置,当被测物体移动时,光点的位移不能直接得到,要通过角度计算得出。斜射式分辨率很高,但测量范围较小、体积较大、光斑较大,所以在此不符合本系统体积的要求。

图2.2斜射型示意图

直射型:如下图2.3所示,激光器发出的入射光束垂直于成像透镜光轴O,光敏面与成像物镜O平行,被测点的位移与光电探测器上光斑的位移为线性关系,可用于测量相对或绝对位移,但其光敏面要求很大,而且被测点在成像面的像并不清晰,因此测量精确度不高。光斑较小,光强集中,体积较小,并且不会因被测面不水平而扩大光斑是直射型三角法的最大优点。但由于直射型接收的是散射光,当测量到较为平滑的被测面时,散射性能较差,使光电探测器件CCD接收到的散射光光强小,对测量产生影响,令测量过程受到阻碍,测量精度受到影响。

图2.3直射型示意图

2.3.2激光三角法测量的基本原理

通过上述对激光三角法测量的类型及区别的论述,及我们设计任务需求的分析,综合考虑我们选择了单束光入射,光路检测方式为反射型,光束垂直入射到被测物表面,采用漫反射光进行测量的直射型激光三角法对钢板厚度进行测量。 (1).传统的激光三角法

传统的激光三角法基本原理如图2.4所示,采用直射型,光电探测器采用的是CCD,当散射光通过成像透镜时,如果将CCD以垂直于激光束入射的位置进行安装耦合,则成像到CCD上的光点会由于没有完全聚焦而出现弥散斑,测量并不完全。

图2.4 激光三角法的基本原理图

于是为了光点所成的像在接收器表面上每一点都清晰,则要求透镜光轴与接收面之间必须形成一定的夹角,所以我们选用CCD接收器为倾斜式的方式,即完全聚焦的激光三角法测量,如图2.5所示。

图2.5完全聚焦的激光三角法示意图

图中PO为入射光源,光线经准直透镜后垂直入射到物体表面,反射后经过成像透镜中心点M成像在CCD接收面上,入射光PO与反射光以的夹角为θ,反射光OA与CCD成像平面的夹角为,P点成像于CCD平面上的B点,O点成像于CCD平面上的A点,由图中可知,P点与O点高度不同,所成的像投射到光敏面上的位置也是不同的,设O点所在平面为基准面,A为CCD成像平面上的成像基准点,则光线PO上的点与CCD平面上的投影点是一一对应的。因此,只要知道光线PO上的任何一点在CCD成像面上的位置就可以求出该点的高度信息。由图2.5,可列出以下关系式

(2.1)

由公式(2.1)可推出

(2.2)

式中:

PO一一物点的高度信息;

AB一一P点在CCD成像平面的成像点与成像基准点A的偏移量 OM一一O点成像PO物距; MA一一O点成像像距;

激光束垂直投射到被测物面,所形成的漫反射光斑作为传感信号,用透镜成像将收集到的漫反射光会聚到像平面的光接收器上形成像点。当被测物面移动时,入射光斑也会随之移动,像点也会在光接收面上做相应的移动,根据像移大小和系统结构参数可以确定被测物面的位移量,从而还可以获取其它方面信息。本系统中,为使光接收器上的像点不存在盲点,光接收器的光敏面必须与成像光轴成一夹角。这样既可以保证入射光斑与其像斑位移具有的关系精确,还可以使成像点最小,有利于提高测量精度。同时为了提高测量精度,和θ必须满足沙姆

(Seheimpflug)条件,即

,如图2.6所示[5]: