发布时间 : 星期二 文章上虞晶盛单晶炉操作说明书更新完毕开始阅读90a01dd726fff705cc170a8d
3.2 回熔
（1）引晶拉断、放肩时断棱或者等径时勒苞，切换至手动状态，关闭等径控制、热场控制、坩埚跟踪控
制环，准备回熔；
（2）升高加热器功率，降低埚转至 1-2 转，缓慢停晶转，下降坩埚。坩埚位置以液面进入高温区为宜； （3）逐渐将晶棒降到液面以下回熔，一次不可降太多，等液体里的固体棒溶完后方可再下降一些。如果
降得过快，会使固体棒子顶到石英坩埚底部，造成事故。
3.3 煅烧
新的热系统必须经过高温煅烧后才可投料拉晶。
3.3.1 煅烧前准备工作
（1）炉子真空度满足要求：极限真空<15mTorr，泄漏率<30mTorr/hr，通过后方可安装热场煅烧； （2）将炉膛内壁擦拭干净，安装新的热场时，必须将石墨件表面打扫干净，热场装配要对中； （3）确认钢丝绳、坩埚轴的限位、行程和位置零位都已经校准好。
3.3.2 全套新热场的煅烧步骤（按 20 寸热场要求）
煅烧时埚位设定在零位。
（1）第一步，真空煅烧，目的是去除水粉及易挥发物质 a、由于新热场含有大量水分，极限真空的标准降
低到 100mTorr。即抽空到 100mTorr 以内后，即可 加热。第一次功率 30kW，一直烧到真空数值小于 100mTorr 后，加第二次功率到 60kW，当煅烧到真 空再次小于 100mTorr 后，加第三次功率到 90kW。保持 90kW，直到真空小于 50mTorr，停止煅烧； b、在上述第二、第三次加功率后，要保证真空数值不大于 200mTorr，否则炉内容易出现电离打火。 如果出现真空数值大于 200mTorr，则需要将功率降低到上一步骤的数值，保持煅烧 2 小时后，再次 尝试增加功率，如此循环往复，直到将真空数值烧到小于 100mTorr；
（2）第二步，通氩气煅烧，目的是彻底清洁石墨毡
a、经第一次煅烧后，将热场全部拆出，彻底清扫热场及炉膛。然后装炉抽空。达到要求的极限真空 （50mTorr）后，开始加热； b、氩气 60slpm，炉压 10Torr，在 2 小时内，逐步均匀地将功率加到最高功率 95kW。保持 12 小时 后停炉； c、拆炉前检查极限真空及泄漏率，如果达到工艺标准的要求：极限真空<20mTorr，泄漏率<40mTorr/hr； 则可转入第三次煅烧。否则应上报班长，查找原因，解决问题后方可转入第三次煅烧；
（3）第三步，通氩气煅烧，目的是为拉晶作准备 a、将热场全部拆出并清扫干净。用砂纸打炉膛，要将炉
壁内的彩色挥发物彻底打扫干净。对副炉室 也要仔细清扫；
b、装炉抽空，达到要求的极限真空（<20mTorr）后，开始通氩气加热，氩气 60slpm，炉压 10Torr； c、在 1 小时内逐步升高功率到 95kW，保持 8 小时后按以下方法验收，验收合格时停炉；不合格时 继续煅烧，但是高温时间超过 20 小时，仍未验收合格的，应马上停炉，待拆炉查找原因； 真空验收的方法：将氩气关闭真空抽到极限后（<20mTorr），观察真空变化趋势 10 分钟，真空回返 小于 2mTorr 可认定已煅烧好，可以停炉。如达不到要求则应继续煅烧； （4）停炉后热检漏并记录数据，合格的可安排投料拉晶。
注意：在第三次煅烧前，可在石墨埚内放一片石墨毡，石墨毡上放一块石英埚片，拆炉时观察石英片上是
否有析晶现象，有析晶说明热场还没煅烧完全。析晶是石英片上出现的白斑，手摸能剥落；
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3.3.3 新石墨埚、新加热器的煅烧
高温 8 小时后停炉。
注意：（1）使用新热场时，一定要校准平口，这样才能安全的使用各种自动程序；
（2）上述的高温是指其对应的加热功率略高于熔料的最高功率。
3.4 大清
正常拉晶 12 炉以后，需要对单晶炉系统进行大清理，大清包括：
（1）热场清理：拆出热场，清理炉膛。如炭毡有损坏，应及时更换煅烧。拆下副室上部观察窗，清理干
净副室顶部；
（2）泵腔清理：清理泵腔、更换新泵油；
（3）管道清理：拆下真空管道盲板、波纹管，清理干净抽空管道及球阀、蝶阀、防倒吸阀； （4）热场热净化处理：煅烧 20 小时；
3.5 连接部位检查
（1）对于电极螺栓，容易发生松动，导致打火。因此，对于已经松动的，必须拧紧；对于没有松动的，
要先拧松，再拧紧，以防烧结。拧紧的尺度是：用手尽量的紧！
（2）对于下轴与托杆的连接螺栓，容易烧结在一起。因此，每炉都要先拧松，再拧紧，以防烧结粘死。
拧紧的尺度是：适度；
（3）每炉都要检查籽晶是否可以在夹头内松动，如果太紧就要查看原因；
（4）装加热器时，加热器与石墨电极之间垫碳纸。每次拆炉都要抬起加热器，松动与石墨电极之间的连
接，以防烧结。
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如电压小于 2 伏或大于 3 伏，可以调整 8 号电路板上的增益电位器（箭头所示，上面第一个电位器） 使得电压为 2.5V 左右。稳定 1 分钟后再对热场温度进行校正。
增益电位器
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第五章 异常情况处理
５.1 断水
加热过程中炉体冷却水中断或流量不足会提示水流量低报警，系统会在 30 秒内自动关闭加热器电源。 此时需迅速检查原因，若由于水压突然下降引起，马上增大水压，可打开增压泵或更换过滤器。若断水时 间过长，禁止供水，防止冷却水迅速汽化引起爆炸。
５.2 电极故障
加热过程中若出现电极故障报警，可能有三种原因： 1、电极与炉底板短路，发生放电； 2、电极冷却水导电性增强；
3、炉内电极附近出现电离气体发生放电，一般新热场容易产生电离气体。此时应观察加热器电流和功 率是否发生跳变，如不跳变，可继续加热；若发生跳变，如果熔料时间长，继续熔料，如果熔料时间短， 停功率等炉子冷却下来后拆炉检查。
５.3 打火
升到高温,查看加热器功率、电流值,是否摆动幅度大。如果幅度大，看多晶料是否有点熔，有点熔的话 继续熔料；否则，停功率等炉子冷却下来后打开炉盖检查电极。一般是电极螺丝松掉或造成接触不良。
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