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四层。
图4-4 改进后铝镜的反射率曲线
银膜可用化学方法和真空蒸镀方法镀制，用化学还原的方法镀制，工艺比较简单，成本低。在可见光谱区反射率约为90%。而用真空镀银方法得到的银膜，反射率可提高到92%～94%。
银膜结构与沉积速率有关。沉积速率高的银膜结构细密，且不受残余气体作用，故反射率高；沉积速率低的则膜层颗粒粗，吸收及散射增大，反射率降低。作为蒸发膜料的银可采用银粉、银丝或银箔，纯度应高于99.99%。基片的温度最好在50C左右，温度太低，膜层附着力差，稍擦及破；温度太高，膜层则容易变黄，反射率下降。
真空压强对反射率的影响也是很明显的，在超高真空（5×10比在一般高真空（1×10
?3?80Pa）条件下镀得的银膜，
Pa）条件下镀得的银膜，反射率高出0.6%。
4.3 金膜（Au）
金是金属中最富有延展性的一种。金的熔点为1063C，在10
00?2Pa时气化温度为
1045C。其化学性质不活泼，只能溶于王水，硫酸等腐蚀性较强的物质中。1克金可以拉成长达4000米的金丝。金也可以捶成比纸还薄很多的金箔，厚度只有一厘米的五十万分之一，看上去几乎透明。带点绿色或蓝色，而不是金黄色。金很柔软，容易加工，用指甲都可以在它的表面划出痕迹。
金在红外波段内有几乎与银差不多高的反射率。新蒸发的金膜往往是软的，很容易划伤
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或剥落，但是镀后不久的金膜会逐渐变硬，与基板的附着力增加，大约一周后，膜的牢固度趋于稳定。由于金膜的这些特点，所以常用作红外发射镜。
金膜在可见光区的反射率很低，但在红外区的反射率很高，是一种常用的红外反射膜的材料，如CO2激光器的波长为10.6um的反射器就是镀金制成的，金膜直接镀在玻璃基底上不很牢固，最好先镀一层铬或镍作为底层，再镀金，就能显著提高强度。
在波长小于500nm的区域中，因为金膜的强烈吸收而时反射率降低，在长波端逐渐上升，当波长为800nm时达到60%左右，故金膜不用作可见光谱区的反射镜。
金膜的制备条件不像Al、Ag那样严格，蒸发速率通常为3～5nm/s，基板温度以100～150C为宜。金膜对玻璃的附着力较差，为此可用Cr或Ti膜做底层。金膜在空气中很稳定，四个月后反射率下降0.1%，但是金膜很软，所以有时也镀Bi2O3、ThF4等保护膜，以提高强度。
金膜在可见光谱区的反射率不高，只有40%～50%，但当波长大于600nm时，反射率便逐渐上升，在波长达2微米以后，反射率可达99%。与银膜相比，其化学稳定性要比银膜好的多，与酸、碱都不起作用，仅能被王水（三份浓硝酸一份浓盐酸的混合液）或氢化钾所腐蚀。是红外光谱区的一种常用反射膜层，例如作为二氧化碳激光器（波长为10.6微米）的反射膜或红外加热器的反射膜等。
金在高温条件下易与其它金属形成合金，因此，用钼、钽、钨作为蒸发源时，很易损坏。与钼的作用稍慢些，但也必须快速蒸发，在钼舟损坏前，就形成不透明的金膜，蒸镀时真空压强最好低于1×10
?30，基片温度为50～80C。
0金膜与基片的附着能力差，硬度低，容易出划痕或擦除。为提高金膜的牢固度，可预先在玻璃基片上镀一层10nm左右的铬或镍，然后在镀金就牢固得多。或者，可先镀一层四分之一波长的硫化锌，再镀金膜，但牢固度不及前者。另外，刚镀完金膜的零件，需在空气中放臵一周，以提高金膜的牢固度和硬度。
金膜的厚度在120nm～150nm就能得到很高的红外反射率，这时，对可见光还能有1%的透过率。
4.4 铬膜（Cr）
铬是重要的合金元素。铬以金属铬和铬铁形式加入钢与合金中，它呈银白色金属，质极硬，耐腐蚀。金属铬在酸中一般以表面钝化为其特征。一旦去钝化后，即易溶解于几乎所
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有的酸中。在高温下被水蒸气所氧化，在1000℃下被一氧化碳所氧化。在高温下，铬与氮起反应并被碱所侵蚀。可溶于强碱溶液。铬具有很高的耐腐蚀性，在空气中，即便是在赤热的状态下，氧化也很慢。不溶于水。镀在金属上可起保护作用。
铬膜在可见光区的分光特性几乎呈中性。玻璃上的铬膜，哪怕是极薄的半透明膜也非常牢固。故铬膜常用作中性衰减膜，在目标、度盘和光栅中也常用镀铬的方法获得线条，即所谓真空着色法。
铬在可见区的反射率为50～55%。对半透明铬膜来说，一般可见光区短波侧的透射率较低，在700nm的透射率比400nm高大约10%。铬膜的吸收较大，对R/T=1的铬膜，吸收率达40%。
真空度在1×10
?2～2×10
?4Pa范围内变化时，铬膜的光学常数不会有多大差异。淀积
速率由9.5nm/s增加到30nm/s时，吸收几乎保持不变。基板温度增加，由于铬对残余气体的吸附减少，抑制了氧化铬的形成，因而反射率提高，淀积在300C基板上的Cr膜，其反射率比室温淀积的高20%。对Cr膜进行为期5～6个月的时效处理，发现它的光学常数及其稳定。
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5 结论
21世纪将是光电子技术的世纪。光电技术是21世纪的尖端科学技术，它将对整个科学技术的发展起着巨大的推动作用。本论文是通过对光学薄膜的了解介绍，进而引出了金属反射膜。并对其几种特殊且常用的金属薄膜进行介绍，对其在特性和镀制上进行研究。
自上世纪七十年代以来，薄膜技术与薄膜材料得到突飞猛进的发展，无论在学术上还是在实际应用中都取得了丰硕的成果，并已成为当代真空科学与技术和材料科学中最活跃的研究领域，在高新技术产业中具有举足轻重的作用。薄膜技术、薄膜材料、表面科学相结合推动了薄膜产品全方位的开发与应用。金属膜在传统光学组件中也是不可或缺的角色。利用金属的反射设计出不同的光学组件。
光学薄膜在我们的生活中无处不在，从精密及光学设备、显示器设备到日常生活中的光学薄膜应用；比方说，平时戴的眼镜、数码相机、各式家电用品，或者是钞票上的防伪技术，皆能被称之为光学薄膜技术应用之延伸。倘若没有光学薄膜技术作为发展基础，近代光电、通讯或是镭射技术将无法有所进展，这也显示出光学薄膜技术研究发展的 重要性能源、信息和生物技术被称为现代社会的三大支柱，而材料科学有事能源、信息和生物技术的基础。
可见薄膜材料在我们的生活中应用相当的广泛，尤其是金属反射膜材料。可以推断金属反射膜在将来的发展将向前推动我们的工业发展。
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