发布时间 : 星期五 文章ISO14644-3检测方法更新完毕开始阅读d9459ba94793daef5ef7ba0d4a7302768f996f18
样管口方向应该垂直向上。采样管口到离散粒子计数器传感器的连接管要尽量短。采样粒子大于等于1 μm时，连接管的长度和直径不应超过制造厂家的建议值。 由于扩散造成的小粒子损失和由于沉降和撞击造成的大粒子损失说产生的采样误差不应大于5%。
B.1.3 空气悬浮粒子计数仪
如C.1所规定的那样，离散粒子计数器（DPC）应能够对粒子进行计数、计径，其粒径辨别力应与待测洁净室设施的级别相适。该离散粒子计数器应能够对这些粒径范围内的粒子加以计数并进行显示或记录。该计数器应有有效的校准证书（见C.1的说明）。
B.1.4 检测报告
对洁净室设施分级或对其进行检测，应根据客户与建造商的一致意见，将下述的信息与数据及第5条的检测报告，记录在案：
a) 离散粒子计数器的背景噪声计数； b) 测量类型：分级或监测； c) 洁净室设施的洁净度级别； d) 粒径范围和计数；
e) 离散粒子计数器采样管口的采样流量与通过传感腔的空气流量； f) 采样位置；
g) 分级采样规约或监测采样计划； h) 占用状态；
i) 与测量有关的其它数据。
B.2 空气悬浮超微粒子计数 B.2.1 原理 B.2.1.1 概述
本方法对粒径阈值小于0.1 μm的空气悬浮粒子浓度的检测做了详细规定；该浓度以U描述符表示。B.2中给出的方法取自IEST-G-CC1001:1999。该项测量可在洁净室或洁净区3种规定占用状态下中的任何一种实施。按照ISO 14644-1:1999附件E确定洁净室设施的超微粒子浓度，或是按照ISO 14644-2:2000进行的定期测量，应按本方法实施。
B.2.1.2 计数效率
测量U描述符所用系统的计数效率应处在图B.1的阴影之内。这个可接受性能区中心对应设定的超微粒径（显示为粒径“U”）粒子的计数效率为50%。超微粒径
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容差±10%，在图B.1中显示为粒径1.1U和0.9U。对粒径大于和小于±10%粒径容差粒子的最小和最大可接受计数效率，其依据的是计算出的扩散元件的透过率。该扩散元件对粒径大于规定超微粒径10%的粒子有至少40%的透过率，对粒径小于规定超微粒径10%的粒子有至少60%的透过率。
如果离散粒子计数器（DPC）或凝聚核粒子计数器（CNC）的计数效率曲线处于图B.1阴影的右边，则不能用其测量或检验U描述符。如果其曲线处于阴影的左边，则可以用B.2.1.2中说明的粒径限制器使曲线改变减小其计数效率。在这种情况下，被修改了的离散粒子计数器或凝聚核粒子计数器的计数效率就成为未修改的计数器的计数效率与粒径限制器分数透过率的乘积。
图中： X： 粒径（?m） Y： 计数效率（%）
例：U = 0.02 例：U = 0.03 例：U = 0.05 0.5U 0.010 0.015 0.025 0.9U 0.018 0.027 0.045 U 0.02 0.03 0.05 1.1U 0.022 0.033 0.055 5U 0.1 0.15 0.25
图B.1 所选仪器计数效率的可接受区
B.2.1.3粒径限制器
为达到测量或验证U描述符所需的计数效率，可将离散粒子计数器（DPC）或凝聚核粒子计数器（其计数效率曲线处在图B.1阴影的左边）的采样管口安装一粒径限制器。修改计数器、采样管口与粒径限制器的联合计数效率曲线，使之处在图B.1要求的阴影内。
粒径限制器将小于规定粒径的粒子清除，以规定的、可再现的方式降低透过率。粒径限
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制器有各种各样的大小和配置，只要它们具有所要求得透过率即可接受。合适的粒径限制器配有扩散元件和虚拟撞击器。透过率是粒子物理特性、限制器构造和容积流量的函数。使用粒径限制器要小心：它们只能用于规定的流量，安装时要防静电累积。要保证粒径限制器良好地接地，以便使电荷累积达到最小。 B.2.2 超微粒子计数方法
架设好离散粒子计数器或凝聚核粒子计数器的采样管（入口）（需要时装好粒径限制器）。按照ISO 14644-1附件B或ISO 14644-2在每个采样点按规定的流量采样并进行重复测量。采样流量小、采样管长可引起超微粒子明显的散射损耗。散射造成超微粒子损耗所引起的采样误差不应超过5%。根据客户和建造商的一致意见，计算出规定超微粒径范围内U描述符的浓度，并报出数据。如需要超微粒子浓度稳定性方面的信息，可按照客户和建造商的一致意见，以一定的时间间隔在选定的位置实施3次或更多的测量。
B.2.3 超微粒子计数仪器
使用C.3说明的离散粒子计数器（DPC）或C.2说明的凝聚核粒子计数器（CNC）。如果使用离散粒子计数器，它应具有ISO 14644-1附件B规定的、超微粒子50%的计数效率及至少1 μm的粒径分辨力。离散粒子计数器和凝聚核粒子计数器粒径阀值的计数效率应按图B.1作出规定。如使用的DPC或CNC的粒径探测尺寸可小于规定的粒径，则应使用B.2.1.3说明的、粒径穿透性能已知的粒径限制器。 B.2.4 检测报告
应根据客户和建造商的一致意见，按照本文件第5条中的说明，将洁净区设施测量的U描述符的下述信息与数据记录下来：
a) 离散粒子计数器或凝聚核计数器及粒径限制器（如使用）名称及校准情况； b) 规定的U描述符超微粒径阀值；
c) 如使用离散粒子计数器，其背景噪音计数； d) 所要求的粒径限制器的性能数据； e) 测量类型：U描述符测量或监测； f) 洁净室设施的洁净度级别；
g) 超微粒子测量系统进风口与传感器容积流量； h) 采样点位置；
i) 确定分级的采样计划还是检测采样计划（按照规定）； j) 占用状态；
k) 其它有关的测量数据。
B.3 空气悬浮大粒子计数 B.3.1 原理
这里说明的是粒径阀值大于5μm的空气悬浮粒子（大粒子）的检测方法。B.3中给出
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的方法选自IEST-G-CC1001:1999。可在洁净室或洁净区设施处在3种规定占用状态下的任何一种进行这项检测。按照ISO 14644-1:1999附件E确定洁净区大粒子的浓度和按照ISO 14644-2进行定期测量应采用本办法。在采样过程中，应注意正确实施样本的获取和处理，以使大粒子的损耗最少。 B.3.2 样本处理上考虑的问题
当工作对象是大粒子时，样本的采集与处理要小心。其他文章中可找到等动力或非等动力采样及把粒子输送到测量点所用体系要求方面的完整论述。 B.3.3 大粒子测量方法 B.3.3.1概述
大粒子测量一般有2个范畴。如使用不同的测量方法，可能无法比较结果。因此，不同测量方法可能无法相关。这里把各种方法所产生的粒径信息总结如下：
a) 用过滤或惯性法采集，用显微镜观测数量与粒径，或测量采集到的粒子质量；
1) 由过滤器采集、显微镜观测 [B.3.3.2.1] 所报出的是商定粒径的大粒子； 2） 由串级撞击器采集、显微镜观测 [B.3.3.2.2 a] 所报出的是显微镜操作者选择
并报出的粒径的大粒子；
3) 由串级撞击器采集、再做重量测量 [B.3.3.2.2 b]所报出的是空气动力学直径
的大粒子。
b) 使用飞行时间粒子计数或离散粒子计数器测量大粒子的浓度与粒径：
1) 离散粒子计数器测量 [B.3.3.3.2] 并报出的大粒子，其粒径依据的是光学当量直径； 2) 飞行时间粒子测量 [B.3.3.3.3] 报出的大粒子，其粒径依据的是空气动力学直径。
B.3.3.2 大粒子测量中的粒子采集 B.3.3.2.1 过滤器采集和显微镜观测
选择一个膜过滤器及支架，或一个组装好的气溶胶监测器；使用一个孔径为2 μm或以下的膜。在过滤器支架上贴上标签，以便识别支架的位置与洁净室设施。把出风口与可按照要求流量抽气的真空源相连，。如果在单向流区域采样测定大粒子浓度，应设定好流量，使过滤器架或气溶胶监测器入风口形成等动力采样。气溶胶监测器的入风口应对着单向流。
过滤器架或气溶胶发生器的入风口应面向上。对于ISO 6级（见ISO 14644-1）或更洁净的洁净室，采样风量应不小于0.28 m3。对于劣于ISO 6级的洁净室，采样风量应不低于0.028 m3。
取下膜过滤器架上或气溶胶监测器上的盖子，将它们存放在一个洁净的处所。按照客户和建造商一致同意的条件，在采样点对空气采样。如果使用小型真空泵将空气抽过膜过滤器，则泵的排风应送到洁净室以外，或使其通过一适当的过滤器。采样完毕后，把过滤器架上或气溶胶监测器上的盖子盖好。运送过滤器架时应该使过滤
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